Keramischer kapazitiver Vakuumdrucksensor PS520
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Produktanwendungen
1. Halbleiter- und integrierte Schaltungsfertigung
Anwendungsszenarien
Trockenätzen, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und physikalische Gasphasenabscheidung (PVD): Der präzise Vakuumgrad in der Reaktionskammer ist der Schlüssel zur Wiederholbarkeit und Konsistenz des Prozesses.
Ionenimplantation: Überwachung der Ultrahochvakuumumgebung während des Implantationsprozesses.
2. Medizin und Biotechnologie
Anwendungsszenarien
Anästhesiegerät/Beatmungsgerät: Es überwacht präzise den Gasdruck und den Gasfluss in den Atemwegen des Patienten, was in direktem Zusammenhang mit der Lebenssicherheit steht.
Blutanalysegeräte, In-vitro-Diagnostikgeräte (IVD): Steuern den präzisen Fluss und die Verteilung von Proben, Reagenzien und Reinigungslösungen.
Sterilisationsgeräte (Autoklav): Überwachen Sie während des Sterilisationsprozesses den Druck und den Vakuumgrad, um die Sterilisationswirkung sicherzustellen.
Medikamentenpumpen (wie z. B. Insulinpumpen): Sie ermöglichen die präzise Steuerung der Mikroabgabe von flüssigen Medikamenten.
3. Wissenschaftliche Instrumente und Analysegeräte
Anwendungsszenarien
Rasterelektronenmikroskop (REM), Transmissionselektronenmikroskop (TEM): Hohes Vakuum in der Röntgenröhre und der Probenkammer aufrechterhalten.
Massenspektrometer: Es wird in der Gaschromatographie-Massenspektrometrie (GC-MS) und anderen Methoden zur Überwachung des Vakuumgrades der Ionenquelle und des Analysators verwendet.
Vakuum-Beschichtungsanlage: wird für wissenschaftliche Forschungszwecke oder zur Herstellung optischer Komponenten verwendet.
4. Industrielle Automatisierung und Prozesssteuerung
Anwendungsszenarien
Chemische Verfahrenstechnik und Petrochemie: Messung des Flüssigkeitsstands, der Durchflussrate und des Drucks von korrosiven Chemikalien (Säuren, Laugen, Lösungsmittel).
Lebensmittel und Getränke: Wird in CIP-Systemen (In-Place-Reinigung) eingesetzt und ist beständig gegen hohe Temperaturen, hohen Druck und korrosive Reinigungsmittel.
Elektrizität und Energie: Überwachung des Brennkammerdrucks bzw. des Abgasdrucks von Kesseln und Gasturbinen.
5. Automobile und Luft- und Raumfahrt
Anwendungsszenarien
Automobil: Saugrohrdrucksensor (MAP-Sensor), Kraftstoffverdunstungssystem, Bremskraftverstärker-Vakuumüberwachung.
Luft- und Raumfahrt: Druckregelungssysteme für Flugzeugcockpits, Überwachung des Triebwerkseinlassdrucks, Überwachung des Kraftstoffsystemdrucks.
6. Umweltüberwachungs- und Vakuumgeräte
Anwendungsszenarien
Umweltüberwachungsstation: Sie dient der Überwachung des Luftdrucks. Ihre hohe Stabilität gewährleistet die Zuverlässigkeit der Langzeitdaten.
Vakuumgefriertrockner: Wird in der Pharma- und Lebensmittelindustrie eingesetzt und steuert den Vakuumgrad während des Trocknungsprozesses präzise.
Vakuumofen: wird in der Metallurgie und bei der Wärmebehandlung von Werkstoffen eingesetzt.
technische Parameter
| Parameter | Spezifikation |
| Versorgungsspannung | 12…30 V Gleichstrom |
| Stromverbrauch im Leerlauf | Maximal 40 mA, Stromversorgung über 24 V Gleichstrom |
| Schaltausgang - Ausgangstyp | 2-Kanal PNP/NPN-umschaltbar, normalerweise offen/normalerweise geschlossen einstellbar |
| Schaltausgang - Schaltlast | |
| Schaltausgang - Reaktionszeit | 0,01 bis 2 Sekunden (Werkseinstellung) |
| Schaltausgang - Schaltgenauigkeit | ≤±0,25% Bereich |
| Schaltausgang - Analoger Stromausgang | ≤±0,25% Bereich |
| Stromgesteuerter analoger Ausgang - Ausgangstyp | 4-20 mA/0-10 V/1-5 V können eingestellt werden |
| Stromartiger Analogausgang - Last RA | ≤500Ω |
| Strombasierter analoger Ausgang – Linearität | ≤0,5% Bereich |
| Kommunikationsergebnis | IO-Link/RS485 ist optional |
| Verdrahtungsschutz | Schutz vor Phasenumkehr, Überlastung und Kurzschluss |
| Display - Design | Rote 4-stellige 12-mm-Hochleistungs-LED |
| Anzeige – Anzeigebereich | -1999... 9999 |
| Anzeige - Genauigkeit | ≤±0,25% Bereich |
| Stabilität (jährliche Drift) | ≤±0,3% Bereich |
| Temperatur – Mittlere Temperatur | -20... 85°C |
| Temperatur - Umgebungstemperatur | -20... 80°C |
| Temperatur - Lagertemperatur | -30... 80°C |
| Materialien – Gehäuse des Zählerkopfes | Technischer Kunststoff |
| Materialien - Flammhemmend | UL-94 V-0 |
| Materialien - Hülle | Edelstahl 304 |
| Materialien – Mittlerer Kontaktbereich | Edelstahl 304 / Keramik Al2O3 (Reinheit 99,9 %) |
| Schutzklasse | IP67 |
| Kabelaustrittsmethode | M12x1-Stecker |