FM330 熱式ガス流量センサー

圧縮空気、石炭ガス、天然ガス、液化ガス、フレアガス、水素、アルゴン、アンモニアなど、様々なガスの測定に使用できるほか、ガス漏れ検知にも使用できます。

熱式ガス流量センサーは、熱伝導の原理に基づき、ガス流が熱源に及ぼす冷却効果を測定することでガス流量を算出します。他のタイプのガス流量センサーと比較して、高精度、広い測定範囲、高速応答速度といった特長を持ち、石油化学、電力、冶金、電子機器、空調設備、水処理、食品などの産業において重要な役割を果たしています。

1. 石油化学産業

石油化学製品の製造において、熱式ガス流量センサーは、様々なプロセスガスの流量を監視・制御するために広く用いられています。石油分解プロセスでは、水素やエチレンなどのガスの流量を精密に制御することで、分解反応の効率的な進行と製品収率の向上を図る必要があります。熱式ガス流量センサーは、これらのガスの流量を迅速かつ正確に測定し、製造プロセスの最適化に必要なデータを提供します。さらに、化学廃ガス処理プロセスにおいて、複数の複雑な成分を含む廃ガスの流量監視には、熱式ガス流量センサーが適しています。熱式ガス流量センサーは、異なるガス成分に対する感度差が小さいという利点を活かし、廃ガスの流量を正確に測定することで、企業が廃ガス処理装置の運転パラメータを適切に調整し、廃ガスが基準値内に排出されるように支援します。

2. 電力産業

火力発電所では、熱式ガス流量センサーを用いて、ボイラー燃焼に必要な空気流量と排ガス流量を測定できます。空気流量を精密に制御することで、燃料の完全燃焼を実現し、発電効率を向上させ、エネルギー消費量と汚染物質排出量を削減できます。熱式ガス流量センサーは、空気流量の変化をリアルタイムで監視し、そのデータを制御システムにフィードバックして、供給空気量を適時に調整します。排ガス排出量の監視においては、排ガス流量を正確に測定することが、汚染物質の総排出量を算出し、環境保護設備の処理効果を評価する上で非常に重要です。熱式ガス流量センサーは、発電所の環境保護運用と排出管理において、信頼性の高いデータを提供します。

3. 冶金産業

冶金製造工程では大量のガスが使用され、その流量監視において熱式ガス流量センサーが重要な役割を果たします。製鋼における高炉製鉄工程では、炉内反応の安定的な進行を確保し、溶銑の生産量と品質を向上させるために、高炉に吹き込まれる空気と酸素富化ガスの流量を正確に制御する必要があります。熱式ガス流量センサーはガス流量をリアルタイムで測定できるため、オペレーターは送風機のパラメータを迅速に調整できます。銅やアルミニウムなどの非鉄金属の製錬においても、保護ガスと還元ガスの流量制御は熱式ガス流量センサーに依存しており、製錬工程の正確な実施、金属の回収率の向上、製品品質の向上に貢献しています。

4. 電子産業

電子機器製造分野、特に半導体チップの製造工程では、プロセスガス流量の精度が極めて高いことが求められます。熱式ガス流量センサーは、シラン、アンモニア、塩素などの特殊ガスの流量を精密に制御するためによく用いられます。これらのガスは、フォトリソグラフィ、エッチング、薄膜成膜といった重要な工程において決定的な役割を果たします。流量にわずかなずれが生じるだけでも、チップの性能や歩留まりに影響を与える可能性があります。熱式ガス流量センサーの高い精度と高速応答特性は、チップ製造工程におけるガス流量制御の厳しい要求を満たし、チップ生産の安定性と一貫性を確保します。また、電子部品のパッケージング工程では、熱式ガス流量センサーを用いて保護ガスの流量を精密に制御することで、部品の酸化を防ぎ、製品の信頼性を向上させることができます。

5. HVAC業界

HVACシステムにおいて、熱式ガス流量センサーは主に空気流量を測定し、室内環境を精密に制御するために使用されます。大型商業ビル、オフィスビルなどのセントラル空調システムでは、給気と還気の空気流量を測定することで、システムの換気・空気交換効果をリアルタイムで把握できます。室内の人数、温度、湿度などのパラメータに基づいて、ファン速度と風量を自動的に調整することで、省エネ運転と快適な室内環境を実現します。外気導入システムでは、熱式ガス流量センサーによって導入される外気量を正確に制御し、室内空気質を確保し、人々に健康的な生活・作業環境を提供します。さらに、一部の工場などの換気システムでは、熱式ガス流量センサーを用いて有害ガスの排出流量を監視し、室内空気環境の安全性を確保することも可能です。

6. 水処理産業

水処理工程において、熱式ガス流量センサーは主に曝気段階で使用されます。下水処理場の活性汚泥処理では、曝気槽に適切な量の空気を導入することが、微生物の活動と下水処理効果を確保する鍵となります。熱式ガス流量センサーは、曝気空気流量をリアルタイムで測定できます。下水の水質と処理要件に応じて、送風機の運転パラメータを自動的に調整し、正確な曝気を実現し、下水処理効率を向上させ、エネルギー消費を削減します。飲料水処理のオゾン消毒工程では、オゾンガスの流量を正確に制御することが、消毒効果を確保し、オゾン残留物を回避するために重要です。熱式ガス流量センサーは、この高精度な流量測定要件を満たし、飲料水の安全性を保証します。

7. 食品産業

熱式ガス流量センサーは、食品製造工程において幅広い用途があります。食品包装工程では、食品の保存期間を延ばすために、窒素充填包装やガス置換包装などの方法がしばしば採用されます。包装内のガスの比率が要件を満たし、食品の酸化や劣化を防ぐためには、窒素や二酸化炭素などのガスの流量を正確に制御する必要があります。熱式ガス流量センサーの高い精度と安定性は、食品包装におけるガス流量制御の厳しい要件を満たすことができます。焼き物や揚げ物などの食品加工工程では、食品の加工品質と風味を確保するために、蒸気や天然ガスなどのガスの流量を制御する必要があります。熱式ガス流量センサーは、これらのガスの流量をリアルタイムで監視し、正確に制御することができます。さらに、食品工場の換気システムでは、熱式ガス流量センサーを使用して空気の流れを監視し、作業場の空気質を良好に保ち、食品製造の衛生基準を満たすことができます。