PS520セラミック容量式真空圧力センサー

1.半導体および集積回路の製造

アプリケーションシナリオ

ドライエッチング、化学気相成長法（CVD）、物理気相成長法（PVD）：反応チャンバー内の正確な真空度は、プロセスの再現性と一貫性の鍵となります。

イオン注入：注入プロセス中の超高真空環境を監視する。

2. 医療およびバイオテクノロジー

アプリケーションシナリオ

麻酔器／人工呼吸器：患者の気道内のガス圧と流量を正確に監視し、生命の安全に直結する装置です。

血液分析装置、体外診断用（IVD）機器：検体、試薬、洗浄液の正確な流れと分配を制御します。

滅菌装置（オートクレーブ）：滅菌効果を確保するため、滅菌プロセス中の圧力と真空度を監視します。

薬剤投与ポンプ（インスリンポンプなど）：液状薬剤の微量投与を正確に制御します。

3. 科学機器および分析装置

アプリケーションシナリオ

走査型電子顕微鏡（SEM）、透過型電子顕微鏡（TEM）：チューブ内および試料室を高真空に保つ。

質量分析計：ガスクロマトグラフィー質量分析法（GC-MS）などの分析法において、イオン源および分析装置の真空度を監視するために使用されます。

真空コーティング装置：科学研究や光学部品の製造に使用されます。

4. 産業オートメーションとプロセス制御

アプリケーションシナリオ

化学工学および石油化学：腐食性化学物質（酸、アルカリ、溶剤）の液面レベル、流量、圧力の測定。

食品・飲料分野：CIP（定置洗浄）システムで使用され、高温、高圧、腐食性洗浄剤に対する耐性があります。

電気とエネルギー：ボイラーやガスタービンの燃焼室圧力または排ガス圧力を監視します。

5. 自動車および航空宇宙

アプリケーションシナリオ

自動車：エンジンマニホールド絶対圧（MAP）センサー、燃料蒸発制御システム、ブレーキアシスト真空監視。

航空宇宙分野：航空機のコックピット圧力制御システム、エンジン吸気圧力監視、燃料システム圧力監視。

6. 環境モニタリングおよび真空装置

アプリケーションシナリオ

環境モニタリングステーション：大気圧のモニタリングに使用されます。高い安定性により、長期データの信頼性が確保されます。

真空凍結乾燥機（凍結乾燥機）：医薬品および食品業界で使用され、乾燥プロセス中の真空度を精密に制御します。

真空炉：冶金および材料の熱処理に使用される。